Design of high performance pre-amplifier for different types of MEMS thermal sensors

SONG Dong-xue1; XUE Chen-yang1; WANG Wei-bing2; HE Xin2; MENG Ru-nan2

doi:10.13873/j.1000-97872012.09.014

Chinese

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Design of high performance pre-amplifier for different types of MEMS thermal sensors

更新时间：2025-09-11

- Design of high performance pre-amplifier for different types of MEMS thermal sensors
- Vol. 31, Issue 9, Pages: 75-78+82(2012)
- 作者机构：
  
  1. 中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室
  2. 中国科学院微电子研究所微电子器件与集成技术重点实验室
  3. 江苏物联网研究发展中心
  4. 中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室中国科学院微电子研究所微电子器件与集成技术重点实验室江苏物联网研究发展中心
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13873/j.1000-97872012.09.014
  CLC： TN722.71;TP211.4
- Published：2012
- 稿件说明：
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[1]宋冬雪,薛晨阳,王玮冰,何鑫,孟如男.针对不同类型热敏MEMS器件的高性能前置放大器设计[J].传感器与微系统,2012,31(09):75-78+82.

SONG Dong-xue1, XUE Chen-yang1, WANG Wei-bing2, et al. Design of high performance pre-amplifier for different types of MEMS thermal sensors[J]. 2012, 31(9): 75-78+82.
[1]宋冬雪,薛晨阳,王玮冰,何鑫,孟如男.针对不同类型热敏MEMS器件的高性能前置放大器设计[J].传感器与微系统,2012,31(09):75-78+82. DOI： 10.13873/j.1000-97872012.09.014.

SONG Dong-xue1, XUE Chen-yang1, WANG Wei-bing2, et al. Design of high performance pre-amplifier for different types of MEMS thermal sensors[J]. 2012, 31(9): 75-78+82. DOI： 10.13873/j.1000-97872012.09.014.

摘要

针对不同应用的热敏MEMS器件的界面电路设计高性能放大器

提出建立与CMOS工艺兼容的热敏MEMS器件前置放大器的IP库的概念。通过提取相关热敏器件的典型参数

设计低功耗、低噪声且分别符合精度和速度等特殊要求的前置放大器

对3种不同结构的放大器进行分析研究

并利用Cadence软件

基于CSMC 0.5μm标准CMOS工艺库进行设计仿真。仿真结果表明:3种不同结构的放大器可以用于相应性能要求的热敏MEMS器件中。

Abstract

Aiming at various application interface circuits of MEMS thermal sensors

high performance preamplifiers is designed.The concept of setting up IP library of pre-amplifiers for CMOS-process-compatible MEMS thermal sensors is proposed.By extracting related devices typical parameters

pre-amplifiers which is low-power

low-noise and meet special requirements such as precision and speed are designed.Three different strnctures of amplifiers are analyzed based on CSMC 0.5 μm CMOS standard process library are designed and simulated by Cadence software.Simulation results show that three different structures amplifier can be used in MEMS thermal sensors for relevant performance requirements.

关键词

Keywords

references

一种带共模反馈电路的套筒式全差分运算放大器 [J]. 成东波,孙玲玲,洪慧,章少杰,吴国峰. 微电子学 . 2011(03)

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