开关电路在微机械加速度计中的应用

doi:10.13873/j.1000-97872005.11.025

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开关电路在微机械加速度计中的应用

更新时间：2025-09-11

- 开关电路在微机械加速度计中的应用
- Issue 11, Pages: 25(2005)
- 作者机构：
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13873/j.1000-97872005.11.025
  CLC： TH824.4
- Published：2005
- 稿件说明：
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[J]. 2005, (11): 25.
DOI：

[J]. 2005, (11): 25. DOI： 10.13873/j.1000-97872005.11.025.

摘要

介绍了一种用于差分电容检测前置电路的开关电路

该电路使信号易于解调而能简化信号处理电路。阐述了电路的工作原理及相关特性

在250 kHz的载波频率下

给出了Hsp ice仿真结果及其具体在微机械加速度计中的应用。实际结果表明:样品的灵敏度为16～25mV/gn

非线性为0.1%

.5%

满足技术要求。

Abstract

关键词

Keywords

references

张海涛,阎贵平.MEMS加速度传感器的原理及分析[J].电子工艺技术,2003(06).

蓝慕杰,刘晓为,陈伟平,刘亚春,王美,王东旺.加速度传感器信号处理集成电路的研制[J].微纳电子技术,2003(Z1).

刘晓为.应用CAD技术加速我国MEMS技术的发展[J].传感器技术,1999(05).

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