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基于MEMS工艺的声表面波化学毒剂传感器
更新时间：2025-09-11

    • 基于MEMS工艺的声表面波化学毒剂传感器

    • Issue 9, Pages: 43-45(2005)

    • DOI：10.13873/j.1000-97872005.09.016    

      CLC： TP212.2

    • Published：2005

    移动端阅览

  • [J]. 2005, (9): 43-45. DOI： 10.13873/j.1000-97872005.09.016.

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