直流偏置对PZT微传感器的谐振频率的影响

doi:10.13873/j.1000-97872005.04.010

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直流偏置对PZT微传感器的谐振频率的影响

更新时间：2025-09-11

- 直流偏置对PZT微传感器的谐振频率的影响
- Issue 4, Pages: 26-28(2005)
- 作者机构：
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- 基金信息：
- DOI：10.13873/j.1000-97872005.04.010
  CLC： TP212
- Published：2005
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[J]. 2005, (4): 26-28.
DOI：

[J]. 2005, (4): 26-28. DOI： 10.13873/j.1000-97872005.04.010.

摘要

在直流偏置电压对PZT压电微悬臂梁谐振频率的影响研究中

建立了理论方程

并通过激光干涉测试实验对所建方程进行了验证。理论方程和实验均表明:直流偏置电压对PZT微悬臂梁的谐振基频的影响是二阶函数。在直流偏置电场小于1×107 V/m时

直流偏置电压和谐振基频存在线性变化区。此结论可以用于改善谐振式PZT微悬臂梁传感器的信号检测系统

即利用扫描直流偏置电压取代频谱分析。

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