多孔硅湿敏元件的频率特性

doi:10.13873/j.1000-97872005.04.007

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多孔硅湿敏元件的频率特性

更新时间：2025-09-11

- 多孔硅湿敏元件的频率特性
- Issue 4, Pages: 18-20(2005)
- 作者机构：
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13873/j.1000-97872005.04.007
  CLC： TB383
- Published：2005
- 稿件说明：
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[J]. 2005, (4): 18-20.
DOI：

[J]. 2005, (4): 18-20. DOI： 10.13873/j.1000-97872005.04.007.

摘要

用多孔硅作为湿敏元件

室温下在20Hz

00kHz频率范围

湿度从11%RH升至95%RH进行实验。结果表明:不同测试频率对多孔硅湿敏元件有较大影响

低频范围测量灵敏度高;高频范围效果不佳。讨论了频率影响的机理

其理论分析和实验结果一致。

Abstract

关键词

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许媛媛,何金田,李新建,陈渝仁,胡行.水热腐蚀铁钝化多孔硅的湿敏特性研究[J].传感器技术,2004(03).

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多孔硅湿敏元件的频率特性

DOI：10.13873/j.1000-97872005.04.007

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