单片集成MEMS技术

doi:10.13873/j.1000-97872005.03.001

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单片集成MEMS技术

更新时间：2025-09-11

- 单片集成MEMS技术
- Issue 3, Pages: 1-3+6(2005)
- 作者机构：
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13873/j.1000-97872005.03.001
  CLC： TN405
- Published：2005
- 稿件说明：
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[J]. 2005, (3): 1-3+6.
DOI：

[J]. 2005, (3): 1-3+6. DOI： 10.13873/j.1000-97872005.03.001.

摘要

介绍了单片集成MEMS技术相对传统混合(hybrid)方法的优势;分析了单片集成MEMS技术实现的难点

同时

给出了目前与CMOS工艺兼容的多种单片集成MEMS的技术特点、工艺流程;详细阐述了目前各种post CMOS技术。最后

给出单片集成MEMS技术的未来发展趋势。

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