介绍了电子隧道效应在微机械陀螺仪中的应用

根据电子隧道效应的特点与要求提出了隧道陀螺仪的结构方案

利用ANSYS进行系统模态分析、静电-结构的耦合场分析及系统的性能分析。讨论了系统的机械灵敏度及隧道电流与隧道电极间隙的关系。