等效模型分析微机械薄膜谐振器的力学特性

doi:10.13873/j.1000-97872004.11.022

Chinese

您当前的位置：

首页 >

文章列表页 >

等效模型分析微机械薄膜谐振器的力学特性

更新时间：2025-09-11

- 等效模型分析微机械薄膜谐振器的力学特性
- Issue 11, Pages: 61-63(2004)
- 作者机构：
  
  佛山科技学院物理系,广东,佛山,528000
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13873/j.1000-97872004.11.022
  CLC： TN629.1
- Published：2004
- 稿件说明：
移动端阅览
[J]. 2004, (11): 61-63.
DOI：

[J]. 2004, (11): 61-63. DOI： 10.13873/j.1000-97872004.11.022.

摘要

通过引入折合的概念

将多层微机械谐振悬臂梁等效为单层结构

建立了多层微悬臂梁的弯曲振动方程

结合边界条件求出了微悬臂梁的固有频率。等效概念的引入大大简化了多层微机械谐振器件振动特性的理论分析过程

与传统只考虑绝对占优层的方法相比

等效模型不仅更加精确

而且突出了多层微机械谐振梁中的主要矛盾

为多层微机械谐振式器件的结构优化设计奠定了基础。

Abstract

关键词

Keywords

references

吴浩扬,李炳乾,朱长纯,刘君华.光激、光拾硅微机械谐振传感器的进展[J].半导体光电,1999(01).

Views

下载量

CSCD

Alert me when the article has been cited

提交

Tools

Publicity Resources

纳米孔阵列微悬臂梁设计与力学特性研究

基于硅酸镓镧高温压电剪切加速度计的设计与制备

石英挠性加速度计摆片特性仿真研究

风电叶片的等效模型建立

高过载小量程加速度计结构优化与特性分析

Related Author

杨嫄

朱静雪

郭志全

赵静楠

孟青

谭秋林

梁晓瑞

程文华

Related Institution

天津科技大学机械工程学院

天津市轻工与食品工程机械装备集成设计与在线监控重点实验室

中国特种设备检测研究院

中北大学微纳器件与系统教育部重点实验室

中北大学省部共建动态测试技术国家重点实验室

⁰