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溅射PZT薄膜微驱动器的工艺研究
更新时间：2025-09-11

    • 溅射PZT薄膜微驱动器的工艺研究

    • Issue 9, Pages: 26-28(2004)

    • DOI：10.13873/j.1000-97872004.09.010    

      CLC： TP212

    • Published：2004

    移动端阅览

  • [J]. 2004, (9): 26-28. DOI： 10.13873/j.1000-97872004.09.010.

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