为解决现有的MEMS微波开关的激励电压太高、微连接和膜开关的击穿电压等问题

提出了一种独特结构的MEMS微波开关—扭转臂杠杆式膜开关

并对其进行了理论分析

用conventorware和ADS(ad vanceddesignsystem)软件进行了仿真。由于利用了膜结构以及扭转臂和杠杆的原理

这种独特的MEMS微波开关激励电压比较低、隔离度较高、插入损耗比较低、稳定性好。