叉指式微加速度计静电-机械耦合场分析

doi:10.13873/j.1000-97872004.07.009

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叉指式微加速度计静电-机械耦合场分析

更新时间：2025-09-11

- 叉指式微加速度计静电-机械耦合场分析
- Issue 7, Pages: 27-29+33(2004)
- 作者机构：
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13873/j.1000-97872004.07.009
  CLC： TH824.4
- Published：2004
- 稿件说明：
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[J]. 2004, (7): 27-29+33.
DOI：

[J]. 2004, (7): 27-29+33. DOI： 10.13873/j.1000-97872004.07.009.

摘要

为了分析叉指式微加速度计静电-机械耦合场

提出了一种近似分析方法。作为实例

分析了一种新型微加速度计的机电耦合场对灵敏度的影响

所得结果与理论值比较一致

且计算精度接近于有限元分析方法

进一步计算表明:将该近似方法与有限元方法结合

不仅可以提高求解速度

还可以达到较高的精度。

Abstract

关键词

Keywords

references

郑英彬,苏伟,何晓平.叉指式微加速度计的静电-机械耦合场分析[J].传感器技术,2002(05).

彭勃,何晓平,苏伟.微机械静电伺服加速度计[J].中国惯性技术学报,2000(01).

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