稀土Nd掺杂纳米ZnO薄膜气敏特性

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稀土Nd掺杂纳米ZnO薄膜气敏特性

更新时间：2025-09-11

研究了用真空气相沉积法在玻璃衬底上制备掺稀土Nd的ZnO薄膜的气敏特性

实验给出

经温度为500℃

时间为45min的氧化、热处理的掺Nd的ZnO薄膜的晶粒尺寸、结构特性均发生变化。随掺Nd质量分数的增大

薄膜的晶粒尺寸从53nm减小至20nm。经掺Nd(质量分数为4.96×10-2)后纳米ZnO薄膜对乙醇气体的选择性和灵敏性均得到明显的改善。在1.5×10-3体积分数的乙醇气体中最高灵敏度为34

相应的薄膜工作温度为200℃。

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