接触电容式压力传感器的设计与模拟

doi:10.13873/j.1000-97872003.12.026

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接触电容式压力传感器的设计与模拟

更新时间：2025-09-11

- 接触电容式压力传感器的设计与模拟
- Issue 12, Pages: 78-80(2003)
- 作者机构：
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13873/j.1000-97872003.12.026
  CLC： TP212
- Published：2003
- 稿件说明：
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[J]. 2003, (12): 78-80.
DOI：

[J]. 2003, (12): 78-80. DOI： 10.13873/j.1000-97872003.12.026.

摘要

针对大气测量的气压计应用

根据接触电容式压力传感器的工作原理

优化设计了绝对压力传感器的圆形膜结构。通过有限元分析软件ANSYS进行了验证

最后讨论了这种结构的非线性度。

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接触电容式压力传感器的设计与模拟

DOI：10.13873/j.1000-97872003.12.026

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