PZT压电薄膜在微传感器中的应用

doi:10.13873/j.1000-97872003.12.025

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PZT压电薄膜在微传感器中的应用

更新时间：2025-09-11

- PZT压电薄膜在微传感器中的应用
- Issue 12, Pages: 73-77(2003)
- 作者机构：
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- DOI：10.13873/j.1000-97872003.12.025
  CLC： TP212
- Published：2003
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[J]. 2003, (12): 73-77.
DOI：

[J]. 2003, (12): 73-77. DOI： 10.13873/j.1000-97872003.12.025.

摘要

锆钛酸铅压电材料(PZT)因具有优良的压电性能、热释电性能、铁电性能和介电性能而被广泛地应用在微电子机械系统(MEMS)中。基于微传感器

介绍了PZT薄膜

重点介绍了PZT薄膜在微传感器中的应用

并介绍了PZT薄膜微传感器的发展状况。

Abstract

关键词

Keywords

references

周嘉,黄宜平.PZT压电薄膜的压电系数d_(31)的测量及其微悬臂梁简谐振动模拟[J].复旦学报(自然科学版),2002(02).

马薇,李世玮,虞吉林.以PZT薄膜为驱动和传感的微型陀螺研制[J].压电与声光,2001(01).

马薇,李世玮,虞吉林.一种新颖的四梁式压电薄膜微型陀螺[J].中国科学技术大学学报,2000(04).

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