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隧道式硅微加速度计的设计和制作
更新时间:2025-09-11
    • 隧道式硅微加速度计的设计和制作

    • Issue 12, Pages: 25-28(2003)
    • DOI:10.13873/j.1000-97872003.12.008    

      CLC: TH824.4
    • Published:2003

    移动端阅览

  • [J]. 2003, (12): 25-28. DOI: 10.13873/j.1000-97872003.12.008.

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