压阻式硅微型加速度传感器的研制

doi:10.13873/j.1000-97872003.11.011

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压阻式硅微型加速度传感器的研制

更新时间：2025-09-11

- 压阻式硅微型加速度传感器的研制
- Issue 11, Pages: 31-33(2003)
- 作者机构：
  
  南京理工大学机械工程学院,江苏,南京,210094
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13873/j.1000-97872003.11.011
  CLC： TP212
- Published：2003
- 稿件说明：
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[J]. 2003, (11): 31-33.
DOI：

[J]. 2003, (11): 31-33. DOI： 10.13873/j.1000-97872003.11.011.

摘要

利用微加工技术制作了压阻式硅微型加速度传感器

对制作的加速度传感器样品进行了动态测试

单臂梁结构的加速度传感器的灵敏度为1μV/gn

双臂梁结构加速度传感器的灵敏度为1.6μV/gn

结果与理论设计值基本吻合。

Abstract

关键词

Keywords

references

孙以材等编著.压力传感器的设计制造与应用[M].冶金工业出版社,2000.

吴亚林,赵扬.压阻式传感器热灵敏度漂移的变压源补偿[J].传感器技术,2000(03).

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