用正交实验法优化多晶硅制备工艺参数

doi:10.13873/j.1000-97872003.11.003

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用正交实验法优化多晶硅制备工艺参数

更新时间：2025-09-11

- 用正交实验法优化多晶硅制备工艺参数
- Issue 11, Pages: 9-11(2003)
- 作者机构：
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13873/j.1000-97872003.11.003
  CLC： TN304.055
- Published：2003
- 稿件说明：
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[J]. 2003, (11): 9-11.
DOI：

[J]. 2003, (11): 9-11. DOI： 10.13873/j.1000-97872003.11.003.

摘要

在研制多功能集成压力传感器过程中

对关键材料多晶硅来说

制备的工艺条件对其性能影响较大。讨论了沉积温度、反应气体流量和反应室工作压力对多晶硅的沉积速率、晶粒大小和表面粗糙度的影响程度。设计出正交试验

以优化出不同性能要求的多晶硅制备工艺参数。

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关键词

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王善慈.多晶硅敏感技术(连载一)[J].传感器技术,1994(01).

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用正交实验法优化多晶硅制备工艺参数

DOI：10.13873/j.1000-97872003.11.003

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