微机械加速度计挠性梁机械刚度的实验研究

doi:10.13873/j.1000-97872003.09.043

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微机械加速度计挠性梁机械刚度的实验研究

更新时间：2025-09-11

- 微机械加速度计挠性梁机械刚度的实验研究
- Issue 9, Pages: 74-77(2003)
- 作者机构：
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13873/j.1000-97872003.09.043
  CLC： TH824.4
- Published：2003
- 稿件说明：
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[J]. 2003, (9): 74-77.
DOI：

[J]. 2003, (9): 74-77. DOI： 10.13873/j.1000-97872003.09.043.

摘要

在使用开环频率响应实验求取微机械加速度计挠性梁机械刚度时

不可避免地受到静电负刚度的影响。通过分析预载电压和扫频信号幅值对静电负刚度的影响

提出了从系统刚度中分离出挠性梁机械刚度的计算方法。通过不同实验条件下得到的实验结果

验证了该方法的正确性。

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关键词

Keywords

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高钟毓.静电场耦合微机电系统的动态模型[J].机械工程学报,2001(03).

袁光,丁衡高,高钟毓,董景新.叉指式硅微加速度计的结构设计[J].清华大学学报(自然科学版),1998(11).

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