高选择性常温NH<sub>3</sub>传感器

doi:10.13873/j.1000-97872003.08.026

Chinese

您当前的位置：

首页 >

文章列表页 >

高选择性常温NH₃传感器

更新时间：2025-09-11

- 高选择性常温NH₃传感器
- Issue 8, Pages: 78-80(2003)
- 作者机构：
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13873/j.1000-97872003.08.026
  CLC： TP212.2
- Published：2003
- 稿件说明：
移动端阅览
[J]. 2003, (8): 78-80.
DOI：

[J]. 2003, (8): 78-80. DOI： 10.13873/j.1000-97872003.08.026.

摘要

采用MEMS技术

如KOH腐蚀、光刻、溅射金属等技术

在硅片、玻璃等材料上制得平面式微传感器管芯

此结构具有微型化、低功耗、一致性好、适宜大批量生产的优点。敏感材料的采用不同于传统无机物

而是以苯胺为原料

合成高分子聚合物———聚苯胺

此敏感材料不需要加热源

其电阻在室温下与NH3浓度成一定函数关系

可以测得空气中较低含量的NH3。聚苯胺的另一个显著优点是高选择性

实验表明

高达1000×10-6(气体体积分数)的H2

CH4

C4H10

C2H5OH的灵敏度远低于50×10-6(NH3气体体积分数)的灵敏度。

Abstract

关键词

Keywords

references

全宝富,戚金清,王剑刚,全海英,孙良彦.L-谷氨酸盐酸盐膜的气敏特性[J].传感器技术,1998(02).

全宝富,戚金清,吴金鉴,孙良彦.高选择性NH_3敏元件[J].云南大学学报(自然科学版),1997(02).

Views

下载量

CSCD

Alert me when the article has been cited

提交

Tools

Publicity Resources

金属氧化物半导体气体传感器选择性改进研究进展

NO₂气体传感器的研究现状

Pd/Ga₂O₃/AlGaN/GaN HEMT基氢气传感器研究

金属氧化物微气体传感器制备技术的研究进展

n+n组合结构半导体丙酮气敏元件研究

Related Author

刘亚东

徐勇

尤立娟

王学峰

武天飞

杨先军

钟远婷

孙爱发

Related Institution

陆军防化学院

安徽大学物质科学与信息技术研究院

中国科学院合肥物质科学研究院智能机械研究所

佛山职业技术学院汽车工程学院

深圳大学物理与光电工程学院

⁰

高选择性常温NH3传感器

DOI：10.13873/j.1000-97872003.08.026

摘要

Abstract

关键词

Keywords

references

高选择性常温NH₃传感器