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CCl2F2等离子体干法刻蚀InSb-In薄膜的研究
更新时间：2025-09-11

    • CCl2F2等离子体干法刻蚀InSb-In薄膜的研究

    • Issue 4, Pages: 8-10(2003)

    • DOI：10.13873/j.1000-97872003.04.003    

      CLC： TP212

    • Published：2003

    移动端阅览

  • [J]. 2003, (4): 8-10. DOI： 10.13873/j.1000-97872003.04.003.

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