磁控溅射纳米SnO<sub>2</sub>薄膜的气敏特性

doi:10.13873/j.1000-97872003.01.020

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磁控溅射纳米SnO₂薄膜的气敏特性

更新时间：2025-09-11

- 磁控溅射纳米SnO₂薄膜的气敏特性
- Issue 1, Pages: 61-64(2003)
- 作者机构：
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13873/j.1000-97872003.01.020
  CLC： TP212
- Published：2003
- 稿件说明：
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[J]. 2003, (1): 61-64.
DOI：

[J]. 2003, (1): 61-64. DOI： 10.13873/j.1000-97872003.01.020.

摘要

采用磁控溅射制备SnO2薄膜气敏元件

测试了气敏元件的性能

研究了SnO2薄膜气敏元件薄膜厚度、元件加热功率和环境温度和湿度对元件的影响

气敏元件具有很好的灵敏度和选择性特性

对其敏感机理进行了探讨。

Abstract

关键词

Keywords

references

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