通过对阳极氧化多孔Al2 O3 薄膜感湿材料的制备工艺及其电容湿敏特性进行研究

将阳极氧化参数对多孔Al2 O3 薄膜的结构和形态的影响与多孔Al2 O3 薄膜作为湿度传感器感湿材料的湿敏特性联系起来进行分析

为优化制备工艺参数提供更充分的实验数据

使新型多孔Al2 O3 薄膜湿度传感器具有更好的感湿特性。