基于CCD激光干涉微位移测量系统准确度分析

doi:10.13873/j.1000-97872002.07.012

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基于CCD激光干涉微位移测量系统准确度分析

更新时间：2025-09-11

- 基于CCD激光干涉微位移测量系统准确度分析
- Issue 7, Pages: 35-37(2002)
- 作者机构：
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13873/j.1000-97872002.07.012
  CLC： TP274
- Published：2002
- 稿件说明：
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[J]. 2002, (7): 35-37.
DOI：

[J]. 2002, (7): 35-37. DOI： 10.13873/j.1000-97872002.07.012.

摘要

条纹处理是微位移测量系统的关键

从条纹去噪入手

分别介绍了去噪装置、判向变频系统及条纹的细分方法

有效地解决了传统系统中由于噪声、位移方向误判等因素造成的错误计数

提高了系统测量的准确度。同时对系统测量准确度进行了深入分析。

Abstract

关键词

Keywords

references

袁纵横,周晓军,刘永智,周元庆.采用频谱分析技术的高分辨率微位移测量方法[J].仪器仪表学报,2000(01).

吕海宝等编著.激光光电检测[M].国防科技大学出版社,2000.

万德安编著.激光基准高精度测量技术[M].国防工业出版社,1999.

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