高精度扩散硅绝对压力计的研制

doi:10.13873/j.1000-97872002.06.007

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高精度扩散硅绝对压力计的研制

更新时间：2025-09-11

- 高精度扩散硅绝对压力计的研制
- Issue 6, Pages: 25-27(2002)
- 作者机构：
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13873/j.1000-97872002.06.007
  CLC： TH812
- Published：2002
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[J]. 2002, (6): 25-27.
DOI：

[J]. 2002, (6): 25-27. DOI： 10.13873/j.1000-97872002.06.007.

摘要

采用扩散硅绝对压力传感器为检测部件

研制出高精度绝对压力计

重点介绍绝对压力计的工作原理及为提高仪表精确度所进行的温度补偿。

Abstract

关键词

Keywords

references

中国电子学会敏感技术分会,北京电子学会编.传感器与执行器大全[M].电子工业出版社,1998.

黄继昌等编著.传感器工作原理及应用实例[M].人民邮电出版社,1998.

魏海明,杨兴瑶编.实用电子电路500例[M].化学工业出版社,1996.

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