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叉指式微加速度计的静电-机械耦合场分析
更新时间：2025-09-11

    • 叉指式微加速度计的静电-机械耦合场分析

    • Issue 5, Pages: 14-16+18(2002)

    • DOI：10.13873/j.1000-97872002.05.005    

      CLC： TH824

    • Published：2002

    移动端阅览

  • [J]. 2002, (5): 14-16+18. DOI： 10.13873/j.1000-97872002.05.005.

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