谐振原理在硅微机械加速度计中的应用

doi:10.13873/j.1000-97872002.04.001

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谐振原理在硅微机械加速度计中的应用

更新时间：2025-09-11

- 谐振原理在硅微机械加速度计中的应用
- Issue 4, Pages: 1-3(2002)
- 作者机构：
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13873/j.1000-97872002.04.001
  CLC： TH824.4
- Published：2002
- 稿件说明：
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[J]. 2002, (4): 1-3.
DOI：

[J]. 2002, (4): 1-3. DOI： 10.13873/j.1000-97872002.04.001.

摘要

将谐振原理应用于硅微机械加速度计中

可以改善后者输出信号的质量

降低检测难度。随着微机电系统工艺的发展

谐振式微加速度计已成为硅微机械加速度计发展的新趋势

Abstract

关键词

Keywords

references

樊尚春,刘广玉.热激励谐振式硅微结构压力传感器闭环系统[J].测控技术,2000(02).

孟军,茅盘松.微硅加速度传感器的发展[J].电子器件,1999(04).

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