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硅微机械加工光波导压力传感器的设计
更新时间:2025-09-11
    • 硅微机械加工光波导压力传感器的设计

    • Issue 1, Pages: 60-62(2002)
    • DOI:10.13873/j.1000-97872002.01.020    

      CLC: TP212.14
    • Published:2002

    移动端阅览

  • [J]. 2002, (1): 60-62. DOI: 10.13873/j.1000-97872002.01.020.

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