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LIGA技术及其在制造可动微结构件中的应用
更新时间：2025-09-11

    • LIGA技术及其在制造可动微结构件中的应用

    • Issue 12, Pages: 54-56(2001)

    • DOI：10.13873/j.1000-97872001.12.020    

      CLC： TP212

    • Published：2001

    移动端阅览

  • [J]. 2001, (12): 54-56. DOI： 10.13873/j.1000-97872001.12.020.

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