静电式微开关硅悬臂梁的变形分析

doi:10.13873/j.1000-97872001.12.011

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静电式微开关硅悬臂梁的变形分析

更新时间：2025-09-11

- 静电式微开关硅悬臂梁的变形分析
- Issue 12, Pages: 29-31(2001)
- 作者机构：
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13873/j.1000-97872001.12.011
  CLC： TM564
- Published：2001
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[J]. 2001, (12): 29-31.
DOI：

[J]. 2001, (12): 29-31. DOI： 10.13873/j.1000-97872001.12.011.

摘要

介绍了一种计算微开关的硅悬臂梁在电场力作用下的变形的方法

由于作用在梁上的载荷随着梁的变形而变化

用积分法计算存在相当困难

以下提出了一种计算变形的新方法 :将梁分为m个小段

则梁上的分布力可近似为m个集中力

将初始均布载荷分成n步

逐步加载

在每个载荷步后根据变形结果修正m个集中力

同时增加一个载荷增量

作为下一步的载荷。只要m和n取到充分大

就可得到梁变形的精确结果

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静电式微开关硅悬臂梁的变形分析

DOI：10.13873/j.1000-97872001.12.011

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