电容式微加速度计的噪声特性

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电容式微加速度计的噪声特性

更新时间：2025-09-11

- 电容式微加速度计的噪声特性
- Issue 11, Pages: 18-19+23(2001)
- 作者机构：
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13873/j.1000-97872001.11.006
  CLC： TH8244.4
- Published：2001
- 稿件说明：
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[J]. 2001, (11): 18-19+23.
DOI：

[J]. 2001, (11): 18-19+23. DOI： 10.13873/j.1000-97872001.11.006.

摘要

电容式微加速度计的噪声包括机械热噪声和电热噪声 ;主要分析了机械热噪声在开环系统和闭环系统中的噪声特性以及开环系统和闭环系统检测的动态范围

提出电容式微加速度计的噪声主要由机械热噪声的大小决定 ;同时

机械热噪声的大小又主要取决于温度和机械阻尼的大小

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