MEMS的设计方法与系统模拟

doi:10.13873/j.1000-97872001.10.020

Chinese

您当前的位置：

首页 >

文章列表页 >

MEMS的设计方法与系统模拟

更新时间：2025-09-11

- MEMS的设计方法与系统模拟
- Issue 10, Pages: 57-60(2001)
- 作者机构：
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13873/j.1000-97872001.10.020
  CLC： TP21
- Published：2001
- 稿件说明：
移动端阅览
[J]. 2001, (10): 57-60.
DOI：

[J]. 2001, (10): 57-60. DOI： 10.13873/j.1000-97872001.10.020.

摘要

随着MEMS产业重点从单个的MEMS器件向MEMS系统产品的转移

MEMS系统级模拟变得日益重要 .文中主要介绍了MEMS系统的一些结构化、标准化的设计方法以及MEMS系统建模与模拟的分级

重点阐述了MEMS器件级与系统级模拟之间的桥梁———宏模型的建立及系统级模拟的实现。最后介绍了微加速度计系统模拟的一个例子

Abstract

关键词

Keywords

references

黄庆安,秦明,李伟华,匡一宁,朱珂,章彬,孟为民,鞠瑜华,严先蔚,张昭勇.微电子机械系统计算机辅助设计[J].电子科技导报,1999(10).

Views

539

下载量

CSCD

Alert me when the article has been cited

提交

Tools

Publicity Resources

基于Si纳米膜的差分结构矢量水听器工艺研究

基于MEMS的生物微传感技术

MEMS器件真空封装模型模拟

MEMS粗真空传感器研制

微机械陀螺的仿真与优化

Related Author

苗晋威

杨沙沙

齐秉楠

曹文萍

史一明

王任鑫

李炳乾

朱言彬

Related Institution

中北大学省部共建动态测试技术国家重点实验室

声纳技术重点实验室

佛山科技学院物理系

无锡商检局

⁰