集成化触觉阵列传感器的研制

doi:10.13873/j.1000-97872001.02.020

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集成化触觉阵列传感器的研制

更新时间：2025-09-11

- 集成化触觉阵列传感器的研制
- Issue 2, Pages: 52-53(2001)
- 作者机构：
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13873/j.1000-97872001.02.020
  CLC： TP212
- Published：2001
- 稿件说明：
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[J]. 2001, (2): 52-53.
DOI：

[J]. 2001, (2): 52-53. DOI： 10.13873/j.1000-97872001.02.020.

摘要

介绍了一种集成化单晶硅触觉阵列传感器。该传感器共有 10 0个触觉单元

芯片尺寸为 2 5mm×2 5mm

厚度小于 10mm。在制造工艺上

把CMOS工艺和半导体平面工艺融为一体

利用MEMS技术在每个触觉单元上制造了触觉受力点

易于感受所触物体

其测试、记录过程由计算机完成。该种传感器具有一定的开发价值和应用前景。

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DOI：10.13873/j.1000-97872001.02.020

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