微机械加工硅电容式加速度传感器

doi:10.13873/j.1000-97872001.01.021

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微机械加工硅电容式加速度传感器

更新时间：2025-09-11

- 微机械加工硅电容式加速度传感器
- Issue 1, Pages: 57-59(2001)
- 作者机构：
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13873/j.1000-97872001.01.021
  CLC： TP212
- Published：2001
- 稿件说明：
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[J]. 2001, (1): 57-59.
DOI：

[J]. 2001, (1): 57-59. DOI： 10.13873/j.1000-97872001.01.021.

摘要

介绍了硅电容式加速度传感器的工作原理和制作过程。传感器的敏感元件为一个差分电容器

它是由活动质量块与两个玻璃极板通过阳极键合形成。活动质量块用标准的双极工艺和各向异性腐蚀工艺制作。该传感器的量程为 2 0 gn

线性度为 10 -4 量级

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微机械加工硅电容式加速度传感器

DOI：10.13873/j.1000-97872001.01.021

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