叉指式微结构加速度传感器刚度的力法求解

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叉指式微结构加速度传感器刚度的力法求解

更新时间：2025-09-11

- 叉指式微结构加速度传感器刚度的力法求解
- Issue 6, Pages: 25-27(2000)
- 作者机构：
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13873/j.1000-97872000.06.009
  CLC： TP212
- Published：2000
- 稿件说明：
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[J]. 2000, (6): 25-27.
DOI：

[J]. 2000, (6): 25-27. DOI： 10.13873/j.1000-97872000.06.009.

摘要

采用结构力学的力法，建立了求解叉指式微结构加速度传感器刚度的力学模型。与材料力学方法相比，简化了推导过程，得到了便于微机计算的结论。

Abstract

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金磊,高世桥,李文杰.微加速度传感器硅微结构设计[J].传感器技术,2000(02).

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