为了在二维微驱动系统中实时检出磁性移动块的存在位置

提出并试制了一种基于MEMS工艺的微型磁性开关阵列

它作为一种位置传感器通过扫描查询方式工作。对该传感器的工作原理、制做工艺做了详细的描述

并给出了一些实验结果。