介绍了一种基于测热原理的新型流量传感器

它采用加热器对流体加热

利用薄膜温度传感器

通过测量流体的温度差和热脉冲上升时间

实现流量的测量。两种测量方法相结合使得测量范围有了较大的提高 (0 .1～ 15 0mm/s)

响应时间缩短到了 2ms

并且

这种传感器对杂物不敏感。