微传感器和执行器的计算机模拟技术

doi:10.13873/j.1000-97872000.03.006

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微传感器和执行器的计算机模拟技术

更新时间：2025-09-11

- 微传感器和执行器的计算机模拟技术
- Issue 3, Pages: 18-20(2000)
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- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13873/j.1000-97872000.03.006
  CLC： TP212
- Published：2000
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[J]. 2000, (3): 18-20.
DOI：

[J]. 2000, (3): 18-20. DOI： 10.13873/j.1000-97872000.03.006.

摘要

介绍了计算机模拟技术在微传感器和微执行器设计中的应用

通过对多晶硅压力传感器和微泵膜片的计算机模拟分析

优化了器件的结构设计。研究工作表明计算机模拟是微传感器和微执行器设计的有效工具

Abstract

关键词

Keywords

references

刘晓为,车伟,王蔚,李新,刘玉强,刘振茂,范茂军.微泵膜片在静电驱动下的计算机模拟[J].哈尔滨工业大学学报,1998(06).

刘晓为,张国威,刘振茂,郭青,高家昌,范茂军,段治安,崔光浩.多晶硅高温压力传感器[J].传感器技术,1990(05).

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