微机械加工技术──等离子体刻蚀

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微机械加工技术──等离子体刻蚀

更新时间：2025-09-11

- 微机械加工技术──等离子体刻蚀
- Issue 4, Pages: 58-60(1997)
- 作者机构：
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- 基金信息：
- DOI：10.13873/j.1000-97871997.04.019
  CLC： TN405
- Published：1997
- 稿件说明：
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[J]. 1997, (4): 58-60.
DOI：

[J]. 1997, (4): 58-60. DOI： 10.13873/j.1000-97871997.04.019.

摘要

简要介绍了利用等离子体刻蚀技术制作背面接点的离子敏场效应管（ISFET）和马赫—增德（Mach-Zehnder）干涉仪式压力传感器的方法．

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