微机械加工技术─LIGA技术

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微机械加工技术─LIGA技术

更新时间：2025-09-11

- 微机械加工技术─LIGA技术
- Issue 2, Pages: 57-60(1997)
- 作者机构：
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- 基金信息：
- DOI：10.13873/j.1000-97871997.02.020
  CLC： TN405
- Published：1997
- 稿件说明：
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[J]. 1997, (2): 57-60.
DOI：

[J]. 1997, (2): 57-60. DOI： 10.13873/j.1000-97871997.02.020.

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简要介绍了LIGA（利嘎）工艺过程、特点和应用实例。

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