微机械加工技术-硅的各向异性刻蚀

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微机械加工技术-硅的各向异性刻蚀

更新时间：2025-09-11

- 微机械加工技术-硅的各向异性刻蚀
- Issue 1, Pages: 56-59(1997)
- 作者机构：
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13873/j.1000-97871997.01.018
  CLC： TN305.
- Published：1997
- 稿件说明：
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[J]. 1997, (1): 56-59.
DOI：

[J]. 1997, (1): 56-59. DOI： 10.13873/j.1000-97871997.01.018.

摘要

简要介绍了在强碱溶液中硅的各向异性刻蚀性质和凸角补偿技术。

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