SnO<sub>2</sub>/ZnO双层膜的表面界面及气敏特性

doi:10.13873/j.1000-97871994.04.002

Chinese

您当前的位置：

首页 >

文章列表页 >

SnO₂/ZnO双层膜的表面界面及气敏特性

更新时间：2025-09-11

- SnO₂/ZnO双层膜的表面界面及气敏特性
- Issue 4, Pages: 7-11(1994)
- 作者机构：
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13873/j.1000-97871994.04.002
  CLC： TP212
- Published：1994
- 稿件说明：
移动端阅览
[J]. 1994, (4): 7-11.
DOI：

[J]. 1994, (4): 7-11. DOI： 10.13873/j.1000-97871994.04.002.

摘要

用溅射法制备了SnO

/ZnO薄膜

采用XPS

AFS

SEM

等手段研究了薄膜的表面及界面

发现在薄膜中

锌与锡存在不同深度的相互扩散

从SEM的断面观察可看到有一个明显的界面存在。XRD分析则表明:ZnO极易沿（002）面择优取向生长。并且SnO

/ZnO膜具有良好的气敏性质。

Abstract

关键词

Keywords

references

R. B. Cooper,G. N. Advani,A. G. Jordan.Gas sensing mechanisms in Sno 2 thin films[J].Journal of Electronic Materials,1981(3).

Views

下载量

CSCD

Alert me when the article has been cited

提交

Tools

Publicity Resources

45°倾斜应用的多通道干涉截止滤光片研制

薄膜干涉型光纤温度传感器的偏振特性

SnO₂-ZnO复合膜特性研究

新型InSb-In薄膜磁阻式振动传感器的设计

TiO₂系薄膜型氧敏材料的研究与发展综述

Related Author

高晓丹

刘岚

姚敏

魏纯

高晓丹

刘岚

姚敏

魏纯

Related Institution

武汉东湖学院电子信息工程学院

华南师范大学华南量子电子学研究所

哈尔滨师范大学

国营4322厂

⁰

SnO2/ZnO双层膜的表面界面及气敏特性

DOI：10.13873/j.1000-97871994.04.002

摘要

Abstract

关键词

Keywords

references

SnO₂/ZnO双层膜的表面界面及气敏特性