镉、锡复合氧化物薄膜的气敏性能

doi:10.13873/j.1000-97871994.03.004

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镉、锡复合氧化物薄膜的气敏性能

更新时间：2025-09-11

- 镉、锡复合氧化物薄膜的气敏性能
- Issue 3, Pages: 16-20(1994)
- 作者机构：
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13873/j.1000-97871994.03.004
  CLC： TP212
- Published：1994
- 稿件说明：
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[J]. 1994, (3): 16-20.
DOI：

[J]. 1994, (3): 16-20. DOI： 10.13873/j.1000-97871994.03.004.

摘要

以不同锡、镉比的CdO、SnO

混合粉料作靶

采用直流溅射方法制得镉、锡复合氧化物薄膜。由XPS及SEM分别对薄膜的组成与形貌进行分析

并探讨了掺钯前后

Sn/Cd比、工作温度及气体浓度等对CdO—SnO

混合溅射膜性能的影响。

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镉、锡复合氧化物薄膜的气敏性能

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