多晶硅微机械薄膜形成技术

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多晶硅微机械薄膜形成技术

更新时间：2025-09-11

- 多晶硅微机械薄膜形成技术
- Issue 6, Pages: 38-39+55(1993)
- 作者机构：
- 作者简介：
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- DOI：10.13873/j.1000-97871993.06.014
  CLC：
- Published：1993
- 稿件说明：
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[J]. 1993, (6): 38-39+55.
DOI：

[J]. 1993, (6): 38-39+55. DOI： 10.13873/j.1000-97871993.06.014.

摘要

介绍了多晶硅微机械薄膜的制备工艺

叙述了它的基本结构和工艺的研究

并给出了试验结果。

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