锯齿波驱动PZT微测量技术与系统

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锯齿波驱动PZT微测量技术与系统

更新时间：2025-09-11

- 锯齿波驱动PZT微测量技术与系统
- Issue 5, Pages: 35-37(1993)
- 作者机构：
  
  华中理工大学
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13873/j.1000-97871993.05.007
  CLC：
- Published：1993
- 稿件说明：
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[J]. 1993, (5): 35-37.
DOI：

[J]. 1993, (5): 35-37. DOI： 10.13873/j.1000-97871993.05.007.

摘要

磁盘表面粗糙度测试技术与工业生产密切相关

在技术进步国家深受重视。对PZT调制光外差干涉法的两种方案展开分析计算

选用锯齿波驱动方案实现高精表面测量技术

研制的测量系统可对磁盘表面粗糙度进行精确测量。

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