电容式压力传感器微电容测量集成电路的研制

doi:10.13873/j.1000-97871993.05.003

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电容式压力传感器微电容测量集成电路的研制

更新时间：2025-09-11

- 电容式压力传感器微电容测量集成电路的研制
- Issue 5, Pages: 13-21(1993)
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- DOI：10.13873/j.1000-97871993.05.003
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- Published：1993
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[J]. 1993, (5): 13-21.
DOI：

[J]. 1993, (5): 13-21. DOI： 10.13873/j.1000-97871993.05.003.

摘要

采用开关电容技术的Boxcar(时域平均)积分原理设计

为测量电容式压力传感器的微电容的接口电路已提出。它由Boxcar积分器

锁存器

脉冲宽度调制器和控制信号电路组成。该接口电路

采用3μm P-阱CMOS双层多晶硅栅工艺研制

管芯面积为2.5mm×3.5mm.测试结果表明

接口电路具有较好的灵敏度

它能将硅集成电容式压力(加速度)传感器集成在同一芯片上

实现一体化。

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