声表面波湿度传感器

doi:10.13873/j.1000-97871993.04.003

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声表面波湿度传感器

更新时间：2025-09-11

- 声表面波湿度传感器
- Issue 4, Pages: 12-15(1993)
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- DOI：10.13873/j.1000-97871993.04.003
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- Published：1993
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[J]. 1993, (4): 12-15.
DOI：

[J]. 1993, (4): 12-15. DOI： 10.13873/j.1000-97871993.04.003.

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叙述了声表面波的有关概念。介绍了声表面波湿度传感器的工作原理及器件制作

并对这种新型湿度传感器的性能及有关问题作了讨论.

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