新型集成压电式加速度传感器

doi:10.13873/j.1000-97871993.01.001

Chinese

您当前的位置：

首页 >

文章列表页 >

新型集成压电式加速度传感器

更新时间：2025-09-11

- 新型集成压电式加速度传感器
- Issue 1, Pages: 1-4(1993)
- 作者机构：
  
  北京理工大学
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13873/j.1000-97871993.01.001
  CLC：
- Published：1993
- 稿件说明：
移动端阅览
[J]. 1993, (1): 1-4.
DOI：

[J]. 1993, (1): 1-4. DOI： 10.13873/j.1000-97871993.01.001.

摘要

带质量块的集成硅压电式加速度传感器是硅刻蚀加工与硅集成电路技术相结合的产物

它取得了近直流响应

灵敏度高等极佳的综合性能。重点介始了该传感器的结构和工艺

并简述了发展概况。

Abstract

关键词

Keywords

references

史锦珊,王玉田,李志全.一种新型压电式加速度计的设计[J].传感器技术,1989(02).

Views

下载量

CSCD

Alert me when the article has been cited

提交

Tools

Publicity Resources

微机械加工硅电容式加速度传感器

带质量块硅悬臂梁加速度传感器的特殊工艺

晶片型压电换能器发电能力影响因素分析

梯形压电悬臂梁的力-电映射特性分析

移动质量激励悬臂梁振动主动控制系统

Related Author

田晓超

林佳颖

王志聪

王虎

张思达

杨志刚

邓爱平

张林贝子

Related Institution

长春大学机械与车辆工程学院

吉林大学机械与航空航天工程学院

广西大学机械工程学院

广西水利电力职业技术学院汽车工程系

广西大学广西制造系统与先进制造技术重点实验室

⁰

新型集成压电式加速度传感器

DOI：10.13873/j.1000-97871993.01.001

摘要

Abstract

关键词

Keywords

references