红外厚度传感器的设计

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红外厚度传感器的设计

更新时间：2025-09-11

- 红外厚度传感器的设计
- Issue 5, Pages: 13-18(1992)
- 作者机构：
  
  浙江工学院
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13873/j.1000-97871992.05.005
  CLC：
- Published：1992
- 稿件说明：
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[J]. 1992, (5): 13-18.
DOI：

[J]. 1992, (5): 13-18. DOI： 10.13873/j.1000-97871992.05.005.

摘要

论述了适合于测量含（CH、CH

2

、CH

3

）基团薄膜厚度的红外传感器的设计原理、结构和参数选择。研究了时间差、充填物质、干涉条纹的影响。给出了克服这些影响的设计方法。

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