压力敏感元件的硅-玻璃-金属封接技术

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压力敏感元件的硅-玻璃-金属封接技术

更新时间：2025-09-11

- 压力敏感元件的硅-玻璃-金属封接技术
- Issue 4, Pages: 46-49(1992)
- 作者机构：
- 作者简介：
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- DOI：10.13873/j.1000-97871992.04.013
  CLC：
- Published：1992
- 稿件说明：
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[J]. 1992, (4): 46-49.
DOI：

[J]. 1992, (4): 46-49. DOI： 10.13873/j.1000-97871992.04.013.

摘要

利用电场和温度将硅—玻璃—金属三者一次性紧密封接在一起。采用这种工艺技术制造出的硅压力敏感元件强度高、气密性好

提高了稳定性和可靠性。

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