薄膜式电阻应变计

doi:10.13873/j.1000-97871992.03.008

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薄膜式电阻应变计

更新时间：2025-09-11

- 薄膜式电阻应变计
- Issue 3, Pages: 25-27(1992)
- 作者机构：
  
  西安交通大学
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13873/j.1000-97871992.03.008
  CLC：
- Published：1992
- 稿件说明：
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[J]. 1992, (3): 25-27.
DOI：

[J]. 1992, (3): 25-27. DOI： 10.13873/j.1000-97871992.03.008.

摘要

采用高频溅射与光刻技术

制成了薄膜式电阻应变计并用计算机对所测数据进行了处理。结果表明:薄膜式电阻应变计的应变线性好、蠕变小、灵敏系数大、精度高、性能指标普遍优于一般的箔式应变计。

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DOI：10.13873/j.1000-97871992.03.008

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